金融界 2025 年 1 月 15 日音讯，国家知识产权局信息数据显现，朗姆研讨公司获得一项名为“含具有用于设定和调整静电卡盘中电极参数的阻抗的调谐电路的 RF 调谐体系”的专利，授权公告号 CN 112753089 B，请求日期为 2019 年 7 月。
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